單質靶材：铋（Bi）靶材，碲（Te）靶材，锆（Zr）靶材，镉（Cd）靶材，铪（Hf）靶材，硫（S）靶材，鋁（Al）靶材，錳（Mn）靶材，钼（Mo）靶材，铌（Nb）靶材，鎳（Ni）靶材，铷（Rb）靶材，钛（Ti）靶材，銻（Sb）靶材，銅（Cu）靶材，铟（In）靶材，硒（Se）靶材等
合金靶材：銅铟（CuIn）靶材，銅镓（CuGa）靶材，銅鋅（CuZn）靶材，銅镓铟（CuGaIn）靶材;銅铟镓硒（CuInGaSe）靶材，铋碲硒（BiTeSe）靶材，铋銻碲（BiSbTe）靶材，鍺銻碲（GeSbTe）靶材，
碲化物靶材：碲化铋（Bi2Te3）靶材，碲化銻（Sb2Te3）靶材，碲化鋅（ZnTe）靶材，碲化銅（CuTe）靶材，碲化鉛（PbTe）靶材，碲化铟（InTe）靶材，碲化镉（CdTe）靶材等
單質靶材：铋（Bi）靶材，碲（Te）靶材，锆（Zr）靶材，镉（Cd）靶材，铪（Hf）靶材，硫（S）靶材，鋁（Al）靶材，錳（Mn）靶材，钼（Mo）靶材，铌（Nb）靶材，鎳（Ni）靶材，铷（Rb）靶材，钛（Ti）靶材，銻（Sb）靶材，銅（Cu）靶材，铟（In）靶材，硒（Se）靶材等
合金靶材：銅铟（CuIn）靶材，銅镓（CuGa）靶材，銅鋅（CuZn）靶材，銅镓铟（CuGaIn）靶材;銅铟镓硒（CuInGaSe）靶材，铋碲硒（BiTeSe）靶材，铋銻碲（BiSbTe）靶材，鍺銻碲（GeSbTe）靶材，
碲化物靶材：碲化铋（Bi2Te3）靶材，碲化銻（Sb2Te3）靶材，碲化鋅（ZnTe）靶材，碲化銅（CuTe）靶材，碲化鉛（PbTe）靶材，碲化铟（InTe）靶材，碲化镉（CdTe）靶材等
硒化物靶材：硒化铋（Bi2Se3）靶材，硒化銻（Sb2Se3）靶材，硒化銅（CuSe）靶材，硒化鉛（PbSe）靶材等
銻化物靶材：銻化铟（InSb）靶材，銻化镉（CdSb）靶材，銻化鋅（Zn4Sb3）靶材等
硫化物靶材：硫化鋅（ZnS）靶材，硫化铟（In2S3）靶材，硫化镉（CdS）靶材，硫化铋（Bi2S3）靶材，硫化镓（Ga2S3）靶材，硫化銅（CuS2）靶材等
氧化物靶材：氧化鋅（ZnO）靶材，氧化镓（Ga2O3）靶材，氧化铟（In2O3）靶材，氧化鋁（Al2O3）靶材等
氮化物靶材：氮化铟（InN）靶材，氮化镓（GaN）靶材
